Semiconductor

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제품소개 제품명 EUV Reticle Delivery Infra 제품설명 품 목 내 역 사 양 EUV Carrier box 수량 - 1set : 3EA 크기 - 700 x 700 x 700 mm 재질 - 알루미늄(2중 구조) 온도 유지 관리 - 고탄성 단열 충진재 (30t) - 온도관리 사양 : 현업과 협의후 결정 Vibration Control - Wire rope isolator(x4) 장착 - Box내부 장착으로 one-stop 제진 방식 적용 - 충격센서 내장 : 상시 monitoring 방식 - 진동충격 관리 사양 : 현업과 협의후 결정 Monitoring/Display - Box외부 실시간 display - data 전송 : data(온습도, 진동) 유선 전송 방식 충격, 온습도 센서 - 3축 충격 센서 방식 : X, Y, Z - 측정 범위 : +/- 15G - 측정 정밀도 : +/- 0.15G - 배터리 용량 : 900mAh - 온습도 sensor 장착 방식 품 목 내 역 사 양 Work table 수량 - 1set : 3EA 크기 - Work table : 900 x 2300 x 1040 mm - OP desk : 850 x 850 x 1040 mm 재질 - SUS PC 사양 - 모니터 : 삼성 24” LCD monitor - CPU : Intel core i5~6세대 6600 스카이레이크 - 그래픽카드 : Nvidia GeForce GT730 HDMI 1 GB - 메모리 : 삼성 4GB DDR4-17000 - HDD : WD 1TB 버퍼 64MB S-ATA3 - OS : Win7 Pro 32bit - Moving cart 수량 - 1set : 2EA 크기 - 850 x 1400 x 1300 mm 전도 방지 구조 - 적용 Delivery station in car 수량 - 1set : 6EA 크기 - 고객 지원 차량 재원에 따라 추후 설계 반영 - 현업과 협의후 결정 재질 - SUS