Software

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제품소개
제품명	BM Inspector
제품설명	• 개요 BM Inspector란, 자동화된 현미경과 Robot, Macro 검사기, XY 스테이지를 사용하여 반도체 Wafer의 Macro 검사 및 전면/후면 Defect 검사를 하기 위한 장비입니다. 더불어 Defect 자동 검사 장비에서 나온 결과 파일을 통하여 Defect을 Review할 수 있으며 SMF 파일 및 AVI 파일을 생성하여 Wafer 차감까지 가능하도록 개발된 소프트웨어 입니다. • 주요기능 - 현미경 컨트롤 - Auto Loader 컨트롤 - X, Y 스테이지 컨트롤 - 실시간 영상에서의 다양한 측정 기능 - Defect Review 기능 - Wafer 차감 기능