• 개요Nano Imprint Lithography를 구현하기 위한 테스트 장비
• 기능 요약- Alignment/Review 용 카메라 영상 보기- X, Y, Z 스테이지 컨트롤- 순차적 테스트 단계 등록에 의한 작업 및 결과 데이터 저장